化学系系主任陈志欣研发成果丰硕,今年8月以「半导体制程气态分子污染物之即时监测系统」,获国科会113年度第2梯次科研创业计画,共新台币540万元补助,为本校申请此计画补助通过之第一案。团队研发出一种针对半导体制程的即时监测系统,提供灵活且经济的解决方案,另邀请电机系教授李扬汉为共同主持人,预计明年成立新创公司,以新型微量气体检测技术打开新市场,为半导体业界提供最新问题解决方案。
陈志欣说明,该项计画目标是在精密的半导体制程中,针对可能存在的气态分子污染物,透过独家纸基传感技术与多维度色彩分析,能即时且精确检测出气态分子的浓度,可事先做出预防措施,以提升半导体制程的良率与企业获利。陈志欣指出,半导体业为台湾重要发展项目之一,现有技术多使用大型仪器,设备昂贵且不具可移动性,难以灵活应对制程中所使用的特有气体,「我们开发的检测系统具备轻便、灵活,可移动并适用于不同场域,同时降低设备成本,减少传统大型仪器的高昂费用。特别是针对半导体制程中的多种特定气体,可随时随地进行整合检测,有效提高检测精度,具备市场扩展潜力。
国科会这项科研创业计画补助,鼓励学界与产业界、研究机构进行桥接,并符合政府推动产业创新政策,补助具潜力之研发成果,朝向商业化及事业化迈进,并串接教育部、国科会、经济部、国发会、金管会等相关资源衔接机制,支持国家产业永续发展、促进经济活络进步。陈志欣笑着说,成功申请该计画十分不容易,通过的单位多为国立大学、医学大学或医学单位,「团队持续努力了3年,不断修计划方向才通过申请,成为国科会科研创业计画办公室的培育团队。」本计画研究团队,目前由本校两位校友,分别是化学系博士黄致为负责高阶技术开发;理学院应用科学博士何宗洋负责商业发展布局,未来也将持续申请政府计画和补助,也希望募集资金尽快成立新创公司,推广这项创新技术。(摘自淡江时报1188期: https://tkutimes.tku.edu.tw/dtl.aspx?no=58170)
陈志欣说明,该项计画目标是在精密的半导体制程中,针对可能存在的气态分子污染物,透过独家纸基传感技术与多维度色彩分析,能即时且精确检测出气态分子的浓度,可事先做出预防措施,以提升半导体制程的良率与企业获利。陈志欣指出,半导体业为台湾重要发展项目之一,现有技术多使用大型仪器,设备昂贵且不具可移动性,难以灵活应对制程中所使用的特有气体,「我们开发的检测系统具备轻便、灵活,可移动并适用于不同场域,同时降低设备成本,减少传统大型仪器的高昂费用。特别是针对半导体制程中的多种特定气体,可随时随地进行整合检测,有效提高检测精度,具备市场扩展潜力。
国科会这项科研创业计画补助,鼓励学界与产业界、研究机构进行桥接,并符合政府推动产业创新政策,补助具潜力之研发成果,朝向商业化及事业化迈进,并串接教育部、国科会、经济部、国发会、金管会等相关资源衔接机制,支持国家产业永续发展、促进经济活络进步。陈志欣笑着说,成功申请该计画十分不容易,通过的单位多为国立大学、医学大学或医学单位,「团队持续努力了3年,不断修计划方向才通过申请,成为国科会科研创业计画办公室的培育团队。」本计画研究团队,目前由本校两位校友,分别是化学系博士黄致为负责高阶技术开发;理学院应用科学博士何宗洋负责商业发展布局,未来也将持续申请政府计画和补助,也希望募集资金尽快成立新创公司,推广这项创新技术。(摘自淡江时报1188期: https://tkutimes.tku.edu.tw/dtl.aspx?no=58170)